Tehnologija jetkanja ionskim snopom je ultra-fina tehnologija obrade koja se pojavila 70-ih godina 20. stoljeća s razvojem čvrstih uređaja u smjeru širine linije ispod mikrona, koja koristi učinak raspršivanja bombardiranja ionskim snopom na čvrstim površinama za skidanje geometriju potrebnu na obrađenom uređaju.
U usporedbi sa strojnom obradom, kemijskom korozijom, plazma korozijom, plazma raspršivanjem i drugim procesima, jetkanje ionskom zrakom ima sljedeće karakteristike:
(1) Neselektivan je za obrađene materijale, a bilo koji materijal uključujući vodiče, poluvodiče i izolatore može se urezati.
(2) Ima sposobnost ultra fine obrade. Sposoban je gravirati vrlo fine uzorke utora, koji su u mikronskom i submikronskom rasponu, a može čak i gravirati linije male kao 0.008 μm.
(3) Graviranje ima dobru usmjerenost i visoku rezoluciju. Njegov uzorak je usmjereno bombardiran kolimiranim ionskim snopom u vakuumu, što je usmjereno jetkanje koje može prevladati neizbježni fenomen bušenja i jetkanja u kemijskoj mokroj obradi, a rub ugraviranog uzorka je oštar i jasan. Visoka rezolucija. Točnost može doseći 0.1~0.01μm, a hrapavost površine bolja je od 0,05μm.
(4) Fleksibilna obradivost i dobra ponovljivost. Budući da se gustoća zrake, energija, upadni kut, kretanje ili brzina rotacije stola obratka i drugi radni parametri ionske zrake mogu neovisno i točno kontrolirati u prilično širokom rasponu, lako je dobiti optimalne uvjete obrade za različite uzorke , koji ne samo da može kontrolirati nagib bočne stijenke linije, već i kontrolirati dubinu utora koja se mijenja u skladu s određenom funkcijom (dubina utora koja se mijenja u skladu s određenom funkcijom naziva se ponderiranje dubine).
(5) Nedostatak jetkanja ionskim snopom je taj što postoji fenomen ponovnog taloženja (efekt ponovnog taloženja) raspršenih materijala. To treba riješiti u praksi.